設(shè)備故障診斷系統(tǒng)資訊：西人馬公司MEMS芯片及傳感器生產(chǎn)線

如今的MEMS芯片及傳感器市場(chǎng)，除了發(fā)展歷史文化悠久的**旅游品牌，許多研究中國(guó)初創(chuàng)芯片技術(shù)公司也進(jìn)入了我們大家的視野，這其中就可以包括2015年成立的西人馬公司。無(wú)線振動(dòng)傳感器基于無(wú)線技術(shù)的機(jī)器狀態(tài)監(jiān)測(cè)，具有振動(dòng)測(cè)量及溫度測(cè)量功能，操作簡(jiǎn)單，自動(dòng)指示狀態(tài)報(bào)警。應(yīng)用于工業(yè)設(shè)備狀態(tài)管理及監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)；適合現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備運(yùn)行和維護(hù)人員監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，保證設(shè)備正?？煽窟\(yùn)行。電渦流位移傳感器能靜態(tài)和動(dòng)態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測(cè)量被測(cè)金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計(jì)量工具。一體化振動(dòng)變送器將壓電傳感器和精密測(cè)量電路集成在一起，實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)“傳感器+信號(hào)調(diào)理器”和“傳感器+監(jiān)測(cè)儀表”模式的振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的功能；適合構(gòu)建經(jīng)濟(jì)型高精度振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)。雖然西人馬在MEMS芯片及傳感器應(yīng)用領(lǐng)域起步較晚，但卻走出了一條不同于其他國(guó)家企業(yè)的自主學(xué)習(xí)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)之路。

自創(chuàng)立以來(lái)，西方人馬一直以感知和人工智能為基礎(chǔ)的核心技術(shù)研發(fā)，持續(xù)、大規(guī)模的投資，每年以數(shù)百項(xiàng)**的快速增長(zhǎng)速度。 持續(xù)的研發(fā)投入也帶來(lái)了豐碩的成果，目前西方和馬來(lái)西亞在MEMS芯片和**傳感器領(lǐng)域擁有**的自主研發(fā)技術(shù)、測(cè)試設(shè)備和制造基地。 具有強(qiáng)大的生產(chǎn)能力以及滿足客戶需求的定制能力。 XIMA**的芯片和傳感器生產(chǎn)車間不僅具有芯片處理能力，而且具有全套標(biāo)準(zhǔn)傳感器性能和可靠性檢測(cè)能力。 能為客戶提供高質(zhì)量、高產(chǎn)量、高效的服務(wù)。 據(jù)《智能制造驅(qū)動(dòng)企業(yè)高質(zhì)量運(yùn)營(yíng)》報(bào)道，西仁馬公司MEMS芯片及傳感器生產(chǎn)線車間，配備8英寸下兼容6英寸MEMS智能傳感器芯片生產(chǎn)線和中國(guó)**的MEMS器件加工平臺(tái)，擁有6000平方米的高級(jí)清潔車間，擁有**的制造、封裝和測(cè)試設(shè)備，如深硅蝕刻、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等。 并具有集成的大規(guī)模生產(chǎn)能力。 走進(jìn)西人MEMS芯片無(wú)塵車間，我看到一臺(tái)高科技設(shè)備在滿功率運(yùn)行，設(shè)備上閃爍的燈光提醒人們生產(chǎn)線繁忙。 在MEMS芯片制造工藝中，化學(xué)、物理或化學(xué)和物理方法來(lái)執(zhí)行蝕刻。 在光刻技術(shù)的基礎(chǔ)上，有選擇地圖案的轉(zhuǎn)印，其技術(shù)水平直接影響到*終產(chǎn)品的質(zhì)量和**的生產(chǎn)工藝。 該器件采用電感耦合等離子體(ICP)實(shí)現(xiàn)蝕刻、鈍化沉積和蝕刻交替，快速形成高選擇性和高蝕刻速率的垂直側(cè)壁，廣泛應(yīng)用于MEMS芯片中。 工作人員說(shuō). 蝕刻機(jī)進(jìn)入薄膜車間，薄膜是指電子束蒸發(fā)、磁控濺射、化學(xué)氣相沉積等方法將所需物質(zhì)涂覆在襯底的表面層上的過(guò)程，根據(jù)該過(guò)程的氣相變化特征，可分為PVD和CVD。 其中物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)是目前**上廣泛應(yīng)用的一種**的表面處理技術(shù),其工作原理是在真空條件下采用物理方法。 一種用于將材料源的固體或液體表面蒸發(fā)成氣態(tài)原子、分子或部分電離的離子，并低壓氣體(或等離子體)工藝在襯底表面上沉積具有特定功能的薄膜的技術(shù)。